该工厂是国内抢先的12英寸晶圆制作基地，选用14nm及以下先进制程技能。因为制程中使用了很多有机溶剂和特别气体，发生的VOCs(挥发性有机物)成分杂乱、浓度动摇大，传统处理办法难以满足要求。
针对高风量、低浓度、多组分的废气特色，选用了沸石转轮浓缩+RTO燃烧的组合工艺：
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